特點(diǎn)：
0.1μm粒徑以上的顆粒數(shù)可以降低至＜5個(gè)/ml；
B元素去除要求達(dá)到PPT級；
出廠均進(jìn)行完整性測試，保證無泄漏；
采用無死角設(shè)計(jì)，避免微生物滋生。
精密處理系統(tǒng)
半導(dǎo)體行業(yè)對超純水中的顆粒物要求非?？量蹋兯圃熘袑τ陬w粒物和各種元素的最終去除需要采用高精度的去離子和過濾等工藝，并且材質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度必須非常穩(wěn)定，要求處理精度達(dá)到PPT級，需要高尖端技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)。
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